Advanced Micro and Nanosystems 2. CMOS-MEMS (Advanced Micro and Nanosystems)

von: Henry Baltes · Oliver Brand · Gary K. Fedder Wiley-VCH · 2005 Gebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) Details (Frankreich) ISBN: 978-3-527-31080-7 ISBN-10: 3-527-31080-0