Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications (Advanced Micro & Nanosystems)

von: Norbert Kockmann · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink · Osamu Tabata Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA · 2006 Gebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) Details (Frankreich) Details (Italien) ISBN: 978-3-527-31246-7 ISBN-10: 3-527-31246-3