LIGA and its Applications: 7 (Advanced Micro & Nanosystems)

von: Volker Saile · Ulrike Wallrabe · Osamu Tabata · Jan G. Korvink · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold

Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA · 2008

Gebunden

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ISBN-13: 978-3-527-31698-4

ISBN-10: 3-527-31698-1