Micromachines as Tools for Nanotechnology (Microtechnology and MEMS)

von Hiroyuki Fujita Springer Berlin Heidelberg · 2003 Gebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) Details (Frankreich) Details (Italien) ISBN: 978-3-540-00856-9 ISBN-10: 3-540-00856-X