Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Siehe auch:
2010TaschenbuchShape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
Structures

von Joachim Frühauf

Springer Berlin Heidelberg · 2004

Gebunden

ISBN-13: 978-3-540-22109-8

ISBN-10: 3-540-22109-3