| Siehe auch: | ||
| 2010 | Taschenbuch | Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures |
|
|
von Joachim FrühaufSpringer Berlin Heidelberg · 2004 Gebunden ISBN-13: 978-3-540-22109-8 ISBN-10: 3-540-22109-3 |