Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology (Microtechnology and MEMS)

von Andreas Hierlemann Springer Berlin Heidelberg · 2005 Gebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) Details (Frankreich) Details (Italien) ISBN-13: 978-3-540-23782-2 ISBN-10: 3-540-23782-8