CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic-Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)

S. auch:
2010TaschenbuchCMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic-Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)
Applications

von D. Lange

Springer Berlin Heidelberg · 2002

Gebunden

ISBN: 978-3-540-43143-5

ISBN-10: 3-540-43143-8