Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen. Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik

von Gerhard Franz Springer-Verlag GmbH · 1994 Gebunden Details (Deutschland) Details (USA) Details (Großbritannien) Details (Kanada) Details (Frankreich) Details (Spanien - España) ISBN: 978-3-540-57360-9 ISBN-10: 3-540-57360-7