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| 2000 | Gebundene Ausgabe | Metal Impurities in Silicon- Device Fabrication (Springer Series in Materials Science) |
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von Klaus GraffSpringer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K · 1994 Gebunden ISBN-13: 978-3-540-58317-2 ISBN-10: 3-540-58317-3 |