Herstellung, Charakterisierung und Bewertung von leitfähigen Diffusionsbarrieren auf Basis von Ta, Ti und W für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen

von Jens Baumann Shaker · 2004 Taschenbuch Details (Deutschland) Details (Vereinigte Staaten) Details (Großbritannien) Details (Frankreich) ISBN-13: 978-3-8322-2532-2 ISBN-10: 3-8322-2532-3