MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

von Markus Glück Taschenbuch Details (Deutschland) (siehe auch: Kindle Ausgabe) Details (Großbritannien) (siehe auch: eBook (Kindle)) ISBN: 978-3-519-00520-9 ISBN-10: 3-519-00520-4 Vieweg+Teubner Verlag · 2005