Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications (Advanced Micro and Nanosystems)

Applications

von: Norbert Kockmann · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink · Osamu Tabata

Taschenbuch

EAN=ISBN-13: 978-3-527-33500-8

ISBN-10: 3-527-33500-5

Wiley-VCH · 2013

Siehe auch:
2006Gebundene AusgabeMicro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications (Advanced Micro and Nanosystems, Band 5)