Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
von
Anton Heuberger
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-540-18721-9
ISBN-10: 3-540-18721-9
Springer
· 1988
Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren):
1989
Unknown Binding
Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie (German Edition)