Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Mikrofertigung

von Anton Heuberger

Gebunden

ISBN: 978-3-540-18721-9

ISBN-10: 3-540-18721-9

Springer · 1988

Siehe auch (möglicherweise von anderen Autoren):
1989Unknown BindingMikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie (German Edition)