Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators: Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration (Microtechnology and MEMS)

Piezoelectric

von Rüdiger G. Ballas

Gebunden

EAN=ISBN-13: 978-3-540-32641-0

ISBN-10: 3-540-32641-3

Springer · 2007
Siehe auch:
2010TaschenbuchPiezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators: Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration (Microtechnology and MEMS)