Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science (109), Band 109)

Materials

von: Diederik Depla · Stijn Mahieu

Gebunden

ISBN: 978-3-540-76662-9

ISBN-10: 3-540-76662-6

Springer · 2008

S. auch:
2010TaschenbuchReactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science, Band 109)