MEMS Microscanner - vom Bauelement zur Applikation: Entwicklung eines Demonstrationsmoduls, basierend auf einem MEMS-Scannerspiegel, zur 1 bzw. 2 dimensionalen Ablenkung von Licht

Scannerspiegel

von Martin Krocker

Taschenbuch

EAN=ISBN-13: 978-3-639-03997-9

ISBN-10: 3-639-03997-1

VDM Verlag Dr. Müller · 2008