Automatisierung im MEMS Entwurf: Kohärente Layoutsynthese und Modellbildung von skalierbaren mikroelektromechanischen Strukturen

Automatisierung

von Lars Voßkämper

Taschenbuch

ISBN: 978-3-639-04923-7

ISBN-10: 3-639-04923-3

VDM Verlag Dr. Müller · 2008