Verfahren zur Charakterisierung ultradünner Schichten: Abbildende Ellipsometrie kombiniert mit ortsaufgelöster Reflexionsspektroskopie zur Untersuchung von ultradünnen Schichten
von
Christof Koltunski
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-639-05845-1
ISBN-10: 3-639-05845-3
VDM Verlag
· 2013