Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials

Sputtering

von Kiyotaka Wasa

Taschenbuch

ISBN: 978-3-642-05931-5

ISBN-10: 3-642-05931-7

Springer · 2013

S. auch:
2004Gebundene AusgabeThin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials