Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials
von
Kiyotaka Wasa
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-642-05931-5
ISBN-10: 3-642-05931-7
Springer
· 2013
S. auch:
2004
Gebundene Ausgabe
Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials