Cmos Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy And Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)

Applications

von D. Lange

Taschenbuch

ISBN: 978-3-642-07728-9

ISBN-10: 3-642-07728-5

Springer · 2013

S. auch:
2002Gebundene AusgabeCMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications (Microtechnology and MEMS)