Protonendotierung von Silizium: Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium (Research)

Protonendotierung

von Johannes G G. Laven

Taschenbuch

EAN=ISBN-13: 978-3-658-07389-3

ISBN-10: 3-658-07389-6

Springer Vieweg · 2014