EMC 2003. 19th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components; Lectures held at the GMM-Conference January 13-15, 2003 in Sonthofen, Germany

von Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik Taschenbuch Details (Deutschland) ISBN: 978-3-8007-2748-3 ISBN-10: 3-8007-2748-X VDE · 2003