Mikro-Nano-Integration, CD-ROMBeiträge des 1. GMM-Workshops 12.-13. März 2009 in Seeheim. Hrsg.: VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM)

Feinwerktechnik

von Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik

CD-ROM

ISBN-13: 978-3-8007-3155-8

ISBN-10: 3-8007-3155-X

Vde-Verlag · 2009