ICPT 2017: International Conference on Planarization/CMP Technology October, 11 -13, 2017, Leuven, Belgien

Mikroelektronik

von VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)

Taschenbuch

Details (Deutschland)

ISBN-13: 978-3-8007-4462-6

ISBN-10: 3-8007-4462-7

VDE VERLAG · 2017