Halbleiterwaferbondverbindungen mittels strukturierter Glaszwischenschichten zur Verkapselung oberflächenmikromechanischer Sensoren auf Waferebene (Elektronik)

oberflaechenmikromechanischer

von Roy Knechtel

Taschenbuch

ISBN: 978-3-89963-166-1

ISBN-10: 3-89963-166-8

Dr. Hut · 2005