Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems

Nanodevices

von: Henry Baltes · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink · Osamu Tabata

Gebunden

ISBN: 978-3-527-30746-3

ISBN-10: 3-527-30746-X

Wiley-VCH · 2004

Siehe auch:
2013TaschenbuchEnabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems