Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems

Nanosystems

von: Henry Baltes · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink · Osamu Tabata

Taschenbuch

ISBN-13: 978-3-527-33498-8

ISBN-10: 3-527-33498-X

Wiley-VCH · 2013

Siehe auch:
2004Gebundene AusgabeEnabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems