Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems, Band 6)

Nanosystems

von: Osamu Tabata · Toshiyuki Tsuchiya · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink

Gebunden

ISBN-13: 978-3-527-31494-2

ISBN-10: 3-527-31494-6

Wiley-VCH · 2007

Siehe auch:
2013TaschenbuchReliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)