Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)

Nanosystems

von: Osamu Tabata · Toshiyuki Tsuchiya · Oliver Brand · Gary K. Fedder · Christofer Hierold · Jan G. Korvink

Taschenbuch

ISBN: 978-3-527-33501-5

ISBN-10: 3-527-33501-3

Wiley-VCH · 2013

Siehe auch:
2007Gebundene AusgabeReliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems, Band 6)