Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Functional

von Joachim Frühauf

Gebunden

ISBN-13: 978-3-540-22109-8

ISBN-10: 3-540-22109-3

Springer · 2004

Siehe auch:
2010TaschenbuchShape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures