Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)
von:
Stephanus Büttgenbach
·
Arne Burisch
·
Jürgen Hesselbach
Gebunden
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-642-12902-5
ISBN-10: 3-642-12902-1
Springer
· 2011
Siehe auch:
2014
Taschenbuch
Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)