Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)

Manufacturing

von: Stephanus Büttgenbach · Arne Burisch · Jürgen Hesselbach

Gebunden

ISBN: 978-3-642-12902-5

ISBN-10: 3-642-12902-1

Springer · 2011

Siehe auch:
2014TaschenbuchDesign and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)