Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)

Manufacturing

von: Stephanus Büttgenbach · Arne Burisch · Jürgen Hesselbach

Taschenbuch

ISBN: 978-3-642-26738-3

ISBN-10: 3-642-26738-6

Springer · 2014

Siehe auch:
2011Gebundene AusgabeDesign and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)