Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)
von:
Stephanus Büttgenbach
·
Arne Burisch
·
Jürgen Hesselbach
Taschenbuch
Details (
Deutschland
)
ISBN: 978-3-642-26738-3
ISBN-10: 3-642-26738-6
Springer
· 2014
Siehe auch:
2011
Gebundene Ausgabe
Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS)